Технологія інтерференційної нанолітографії з використанням високороздільних халькогенідних фоторезистів

д.ф.-м.н. Індутний І.З., Інститутфізики напівпровідників ім.В.Є.Лашкарьова НАН України

Відео записано під час проведення Міжнародної Технологічної зустрічі

 

Короткий опис :

Розроблено технологію інтерференційної нанолітографії (в тому числі імерсійної) на основі осаджуваних у вакуумі халькогенідних фоторезистів. Ці фоторезисти характеризуються високою роздільчою здатністю, широкою спектральною областю світлочутливості і можливістю нанесення на підкладки складної форми. Халькогенідні фоторезисти можуть бути нанесені в одному циклі з нанесенням функціональних шарів в мікроелектронному виробництві. Крім того, такі фоторезисти мають високий показник заломлення (від 2.3 до 3.0 і навіть вище в ультрафіолетовій області спектру), термічно і хімічно стійкі. Поєднання інтерференційної літографії з оригінальними вакуумними фоторезистами дозволило розробити ефективну технологію формування періодичних наноструктур з просторовими частотами до 8000 мм1 (мінімальні розміри елементів менше 100 нм), зокрема дифракційних граток, елементів вводувиводу випромінювання, поляризаторів,фільтрів, сенсорних структур, електронноемісійних структур та інші. 

Переваги: 

Розроблена технологія дозволяє використовувати в якості фоторезистів халькогеніди германію – більш екологічно прийнятні сполуки, ніж традиційні халькогенідимиш'яку.Крімтого, ціни граток та інших структур, які по своїх характеристиках не будуть поступатися виробам провідних західних фірм, будуть в 1,5 – 3 рази нижчі. 

Області застосування: 

Голограмні дифракційні гратки використовуватимуться як диспергуючі елементи в різноманітних спектральних приладах призначених для проведення медикобіологічних досліджень і аналізів (особливо при діагностиці інфекційних захворювань на ранніх стадіях), спектральних аналізів в металургійній промисловості, екологічних досліджень та аналізів, тощо. Сенсори на основі граткових елементів вводувиводу будуть використані в промисловості, медичних та біологічних дослідженнях, для вирішення задач, пов’язаних із захистом довкілля, для аналізу продуктів харчування та напоїв. 

Контактна інформація: indutnyy@isp.kiev.ua , Tел. +38044 5256342 Факс +38044 5256342